二手 CI SCIENCE Torus 200 #293585731 待售

CI SCIENCE Torus 200是来自Confluence International, Inc.它能够处理200毫米以下的基板尺寸，并具有一个自上而下的圆柱形对流蚀刻室、一个用于精确基板定位和移动的x/y/z平台、一个用于高效和安全废物处理的电动盖子以及用于过程自动化的专有软件。系统为用户提供了从单面或双面蚀刻中进行选择的功能,以及从标准和用户定义的工艺配方中进行选择的选项。该单元可用于多种基板的蚀刻和灰化，包括晶体多晶硅（CPS）基板，经常与高能离子束仪器和束光刻结合使用。圆环200设计用于容纳各种尺寸的基板，有一个可编程基板支架提供控制，精确的运动沿着x和y轴。此外，CI SCIENCE Torus 200的高温能力使得铝、钛、不锈钢等材料能够高效蚀刻和粉刷。该机配有提供调降隔离的内部鼓风机、外部安装的冷凝液罐、高效过滤以及用于自动疏散的远程清洗/排气口。此外,安全功能还包括远程手动气体关闭开关和面板安装的紧急停止开关。此外,工具背面的四线接口连接可实现远程控制,允许用户通过PC或任何其他兼容的外部设备访问蚀刻和灰化功能。