二手 CI SCIENCE Torus 300K #9352899 待售

CI SCIENCE Torus 300K是一种最先进的蚀刻器/asher（快速热处理系统），可用于微制造和微电子生产。它是为快速、准确地开发薄膜应用而设计的。这台机器能够执行许多热过程，如退火、氧化、扩散、蚀刻、沉积和灰化。Torus 300K具有几个不同的特点，使其成为微电子生产的理想选择。它有一个特殊的圆柱形加热室，可以适应和适应不同的高度要求，同时保持高精度。它还有一个自动晶片支架，可以自动对齐每个晶片以实现极其精确的对齐。300 K的关键要素之一就是其高效加热。加热方法基于主动和被动元素的组合，有助于均匀加热腔室并保持温度的一致分布。有源元件是一种感应线圈，能快速均匀地加热腔室，而无源元件是一种特殊类型的绝缘材料，有助于更均匀地分配加热功率。结果是更快的温度时间（高达30%的速度）和很好的温度可重复性-即使使用了大量的材料。蚀刻器/粉碎器的清洁效率也很高。它可以用于高达600纳米每分钟的清洁速率，使其成为许多超精细应用的理想选择。此外，它还可以与热等离子体或高压化学清洗一起使用，用于困难和大体积的碎片。此外,CI SCIENCE Torus 300K还具有高水平的过程控制功能,允许用户通过专用软件包监控和调整温度。这样可以更轻松地确保最佳温度控制和可重复性,并使用户能够针对不同的制造任务优化工艺参数。总而言之，Torus 300K是快速准确发展薄膜应用的绝佳选择。其先进的加热和清洁特性以及先进的工艺控制，使其成为微电子生产的高效机器。