二手 CI SCIENCE Torus 300K #9373223 待售

CI SCIENCE Torus 300K是一款专门为高通量半导体加工而设计的蚀刻器/asher。这台设备能够每批处理多达300个晶片，允许同时快速处理多个设备。该系统的主要部件是工艺室、粒子测量单元、温度控制和微控制器。该工艺室的设计是用一系列过滤器最大限度地减少表面污染，而粒子测量机则有助于确保晶圆在加工前没有任何颗粒。温度控制是控制工具温度所必需的，它利用先进的PID控制算法实现了较高的精度。微控制器用于控制整个资产，允许对所有组件进行精确控制。该型号配备了高频射频发生器，允许实现高长宽比蚀刻，而使用可选的可编程源允许为重复过程生成复杂的配置文件。该设备还配备了多区排气系统，允许每次工艺运行后对真空室进行改进清洗。该装置还配备了可选显微镜，允许在加工后的晶片运出前对其进行目视检查。此外，该机器还提供了一个自动调度和记录工具，以便于跟踪和分析过程。该资产的灵活性允许一台机器同时利用湿蚀刻和干蚀刻过程,而其低成本维护使Torus 300 K成为任何高通量环境的理想选择。凭借其高效的设计和可靠的性能，CI SCIENCE Torus 300K为任何半导体制造工艺提供了无与伦比的价值主张。