二手 CI SCIENCE Torus 300K #9402271 待售
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CI SCIENCE Torus 300K是一种先进的电子束光刻设备，专为工业级蚀刻和灰化应用而建造。该系统具有独特的功能组合,涵盖从超高分辨率到高生产率的广泛蚀刻要求。该单元包括一个强大的中能电子枪，一个多轴级，一个高度敏感的光学成像组件，和一个先进的计算机控制机器。该枪产生高能光束，冲击被蚀刻的基材表面，造成微小的锯齿状侵入。图像分量捕获由梁生成的线型,而多轴级允许精确定位梁以创建阵列。Torus 300 K在蚀刻时可达线/空间分辨率低至10纳米，在ashing时可达5纳米。它还具有优化蚀刻的脉冲能力和在一个通道内产生不同深度的多层的可变通过工具，包括用于编程定制模式和自动化过程的特殊软件，确保快速和准确的蚀刻，以及在多次运行中的出色重复性。该模型适用于多种应用，从MEMS等微量制造到3D打印。它用途广泛，是研究和商业生产的强大工具。CI SCIENCE Torus 300K还附有一个压力室，可在真空和其他类似低压环境下运行。总而言之,它是一个功能强大且先进的工具,旨在满足任何蚀刻和灰化要求。
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