二手 CORIAL 300 iL #293634078 待售

CORIAL 300 iL是一种紧凑、高通量、低成本的反应性离子蚀刻（RIE）asher设备。300 iL使用具有广泛参数的专有交流频率,允许广泛的应用。该系统具有高长宽比蚀刻能力，工艺可重复性好，晶圆处理性好。CORIAL 300 iL提供了处理所有可用材料的灵活性,包括但不限于聚合物、金属、氮化物、氧化物和电介质。这个先进的原子尺度蚀刻单元具有直观的图形用户界面，具有全面的配方构建功能，允许用户自定义自己的蚀刻配方。它还具有可视化晶片映射和自动晶片跟踪机，提高了可重复性，消除了手动过程控制的需要。300 iL具有快速、高量子效率和低压（0-1 V）离子枪微波发生器的精密蚀刻能力。CORIAL 300 iL配备了高性能涡轮泵，能够实现5x10-7 torr的真空，具有较高的蚀刻速率。它还有一个颗粒过滤工具，以确保最高水平的清洁。内置的安全功能包括气体泄漏检测器、压力过载互锁以及消防和气体安全开关，提供了安全的操作环境。此外,300 iL还提供多种工艺配方和翻新选项,最多可扩展三个腔室。CORIAL 300 iL是批量生产高科技部件，如MEMS等微电子设备的理想反应性离子蚀刻器/asher。它操作简单，性能一致，是工业研发和生产设施的宝贵工具。