二手 CORIAL 300 iL #293671933 待售

CORIAL 300 iL 蚀刻器/asher是一种高精度、全自动的多室工具,用于在多种材料中创建有图桉的表面。它专为电子显微镜、医疗设备、MEMS、微电子等多个行业的高性能、金属元件的生产而设计。300 iL提供了广泛的特性，包括多个处理室、不同的蚀刻和沉积气体、集成的OES和质谱，以及精确的温度和压力控制。它还具有多级触摸屏界面,可轻松访问所有系统设置和控件。CORIAL 300 iL配备了一个单一的多级蚀刻室，能够使用最多三个气源蚀刻直径达300 mm的样品。蚀刻室配有用于监测反应的集成OES系统和用于测量蚀刻物种类组成的多级质谱仪。该室还配备了可编程温度和压力控制，以达到最佳蚀刻条件。300 iL还提供高精度沉积室，能够沉积直径达300 mm、厚度达3mm的金属膜。沉积室还配有多级质谱仪，可对沉积参数进行精确控制。该腔室还可用于沉积物料的真空退火。CORIAL 300 iL是生产高精度、高品质元件的理想选择，在多种应用中提供卓越的性能。它易于使用且用途广泛,提供了广泛的蚀刻和沉积过程,以创建复杂且高性能的组件和系统。