二手 CORIAL 300 iL #293695744 待售
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CORIAL 300 iL是一款高性能的蚀刻和asher设备。它旨在为各种蚀刻和灰化应用程序提供出色的灵活性和广泛的功能。300 iL独特的设计特别适合各种材料的蚀刻和灰化，从钢到玻璃、陶瓷和半导体基板。该系统配备了先进的光学和干蚀刻技术，提供了优越的单元架构和过程控制。CORIAL 300 iL具有等离子体源,可实现从低射频功率到高射频功率的宽蚀刻窗口。rf-source被永久地整合到机器中，提供使用专用控制软件的快速轻松的工具激活和配方设置。300 iL还能够快速热退火。它具有一个热板，加热到700°C结合快速响应时间。这样可以稳定温度并提高工艺的可重复性。资产还具有高不透明度保护滤镜,在蚀刻和灰化过程中屏蔽光学元件。这样可以确保模型的耐用性,从而最大限度地降低操作员的维护成本。挥发性有机成分（VOC）的还原也是CORIAL 300 iL的关键特征之一。封闭的工艺室允许更高水平的工艺自动化和减少溶剂为基础的后清洗过程。设备还配备了远程诊断和远程服务功能，可实现较高的正常运行时间并降低维护成本。300 iL提供了广泛的ICP-CF4-etched配置文件和蚀刻均匀性。其用户友好的操作和强大的过程控制功能，使其成为适用于各种蚀刻和灰化应用的工具。
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