二手 CORIAL 300 iL #293818173 待售

CORIAL 300 iL是为精密薄膜处理而设计的高性能蚀刻和灰化设备。该系统旨在实现蚀刻和灰化过程中的最高精度,同时保持出色的过程控制。它具有高能聚焦离子束（FIB）源，为基板提供精确的束离子流。FIB还使金、铜、石墨、硅等多种材料的加工精度极佳。此外,它还具有获得专利的高级配方技术（ART）,可实现高位置精度的阵列。对于灰化，300 iL利用微波射频和快速加热的蚀刻室，以提供快速和高效的去除光刻胶等材料。该机组还拥有高效的冷却机，以确保蚀刻或灰烬工艺在理想温度下完成，从而获得最佳性能。此外，CORIAL 300 iL能够在多种模式下运行，包括并行蚀刻和灰化，顺序蚀刻和灰化，以及高蚀刻速率。这种灵活性使得它非常适合微电子中细线图桉和器件结构的制造等应用。此外,该工具还提供易于使用的图形用户界面（GUI）,用于控制每个流程步骤,并配备了功能强大的微处理器和板载计算机,以增强实时流程控制。300 iL是执行精密蚀刻和灰化过程的可靠工具。它结合了高离子束强度、快速微波灰化、可靠的冷却资产和先进的配方技术，确保了可靠的工艺控制和优异的均匀性。此外，该模型完全可配置，能够适应现代制造工艺不断变化的要求。