二手 CORIAL 300 iL #9258052 待售

CORIAL 300 iL是为光刻应用而设计的最先进的蚀刻/asher设备，提供出色的分辨率、卓越的精度和广泛的工艺能力。这种全自动解决方桉经过精密设计,可为行业和研究应用程序提供最大的质量和效率。300 iL利用高级本地化软件开发可定制的配方,以准确控制和监控所有蚀刻/灰化过程参数。它具有集成的等离子体源，能够完全控制等离子体环境，以及卓越的均匀性控制。这些功能结合在一起,实现了比竞争系统好几倍的层均匀性。CORIAL 300 iL由先进的两级系统Boost Control （SBC）提供动力,可大大扩展过程稳定性并提供高度可预测的蚀刻/灰化性能。SBC技术包括快速优化加工参数的自动调谐功能和根据材料特性调整蚀刻/灰化时间的自适应控制单元。这样可确保流程性能保持一致并产生可重复的结果。300 iL还具有智能安全系统，包括四层紧急停止硬件，以保护机器操作员，防止设备损坏。该工具还有一个内置的多室选项，为多步蚀刻/灰化过程提供了充分的灵活性，允许在同一个工具内分离不同的进程。综上所述,CORIAL 300 iL为精密蚀刻/灰化提供了无与伦比的解决方桉。其先进的本机化软体、两阶段资产Boost Control以及智慧型安全系统，确保了一致可靠的效能，而其多室选项对于多个蚀刻/ashing步骤极为通用。出色的精确度、精确度和工艺灵活性相结合,使300 iL成为一款出色的蚀刻器/asher型号。