二手 CORIAL 300 iL #9267214 待售

CORIAL 300 iL是一款高性能的蚀刻器/asher，适用于广泛的微电子应用。蚀刻器/asher的设计满足各种光刻蚀刻要求，利用包括铝、钨、聚酰亚胺、铜和硅在内的多种材料和蚀刻。300 iL可用于加工尺寸不超过750 mm的基板，工艺温度不超过200 °C，推进剂压力不超过850 mbar。蚀刻器还具有精确的温度控制功能,允许加工精度高达0.03 °C ±。模块化工艺室的设计确保了可靠、高质量的结果，均匀度标准为+/-0.9%的负载，并实现了全氮化物隔离，从而提高了蚀刻质量。CORIAL 300 iL结构坚固，适合长期使用，具有独立加工区域的循环式配置，可同时用于不同的基材和蚀刻。该蚀刻器还具有一个隔离的FPT可切换气体进料面板，可快速改变气体，最大程度地减少停机时间。300 iL配备了全套用户友好的工艺软件，使调试和专家操作变得轻松方便。过程控制软件包括集成的过程配方、有效的周期时间优化、通用参数映射以及高级流量控制。CORIAL 300 iL是一款先进的蚀刻器/asher,具有出色的工艺性能和可靠性,适合高端工业和研究应用。它为包括硅片和MEMS元件在内的基板蚀刻提供了高度的灵活性和功能。