二手 CORIAL 300 iL #9272935 待售

CORIAL 300 iL 蚀刻器/asher专为高吞吐量应用而设计,具有优异的传输特性。它具有一个宽300毫米的加工室，带有8个负载锁，并配有24个晶片适配器机器人，方便晶片装卸。300 iL还配备了用于流程接口的多个通信接口和灵活的配方配置,使其能够适应各种蚀刻和灰化过程。CORIAL 300 iL专为高精度工艺而设计,具有多种自动功能,可确保一贯的高蚀刻均匀性。其先进的电机控制系统以最小的振动和热失真保证了高速和精度。较高的吞吐量速率可缩短流程时间,提高总体吞吐量。300 iL支持各种工艺气体和化学物质，如氧气（O2）、氮（N2）、二氧化碳（CO2）、氙气（Ar）和硅烷（SiH4）。CORIAL 300 iL全自动,对压力、温度和真空进行自动控制。它配备了自动气流控制系统，在蚀刻和灰化过程中进行精确、可重复的动态控制。腔室设计方便进入加工腔室，并提供有效的气体密封，使其使用安全高效。300 iL还提供了减少的工艺测量以及最小化的停机时间。它包含了压力和泄漏监控等多种安全功能,可轻松集成到现有的生产环境中。该系统的多种通信接口提供了其他系统之间以及与主机的轻松通信,从而实现了高效的自动过程控制。总体而言,CORIAL 300 iL 蚀刻器/asher是寻求高精度蚀刻和灰化工艺的用户的绝佳选择。它的高级功能确保了持续的高蚀刻一致性,并显着减少了过程时间和停机时间。此外,它的多个通信接口使您能够轻松集成到现有的生产环境中,并提供高效的自动过程控制。