二手 CORIAL 300 iL #9272940 待售

CORIAL 300 iL端点蚀刻器/Asher是为晶圆蚀刻和剥离行业设计的精密批量asher。300 iL是一种自动化、全封装、低振动、低气体热装置,能够对蚀刻和清洁材料进行非常严格的过程控制。该设备具有位于中央的专利多向喷嘴系统和大容量SiC加热器。CORIAL 300 iL端点Etcher/Asher提供了许多功能,这些功能旨在提高设备上过程的吞吐量和质量。该单元能够提供一个极其可重复的端点,可能的误差低至0.1 μ m/cm。存储在内存中的8个可编程区域和多达10个工艺配方,300 iL提供了传统批处理分机无法比拟的灵活性和精确度。机器还提供了整个基板上温度均匀度± 2°C和温度范围为2°C至200 °C的可能性。可在CORIAL 300 iL范围内使用的工艺气体包括氮气、氙气、甲酸和丙酮等。该工具配有惰性气体供应和净化机制，确保每种工艺配方都用新鲜气体冲洗资产，从而提供最高水平的污染控制。300 iL还具有多项安全功能,包括紧急停止、气体和电源关闭,以及低电压、高电流的回火关闭开关。该模型还具有可听和视觉警报功能,以警告操作员任何警报情况。该设备采用耐用的CERTACHROM不锈钢制造，而且配置性强。系统上可以安装各种晶圆支架,并且可以使用CORIAL 300 iL的以太网连接将设备集成到客户现有的基础架构中。总之，300 iL端点蚀刻器/Asher为蚀刻和剥离行业提供了灵活、高精度和安全的解决方桉。CORIAL 300 iL具有出色的精度、可重复性和温度控制,非常适合任何需要控制、定位或多步蚀刻或剥离的工艺。