二手 CORIAL 300 iL #9272952 待售
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CORIAL 300 iL是一种蚀刻器/asher,设计用于蚀刻和粉刷各种基材。它拥有紧凑、节省空间的设计,而其强大的锁定机制确保了高效和安全的操作。300 iL是大中型实验室的理想选择,提供高精度的工作和强大的安全功能。CORIAL 300 iL配备了大功率的热丝蚀刻设备,光谱阴极源提供可控光束电流高达10 A,提供了广泛的光束能级。独立于CORIAL的机械和光学聚焦系统可即时调整精度和速度。双重保护技术可实现最高精度,提供高蚀刻精度和均匀的层,边缘清晰度可达± 2 ㎛。该装置还具有现场气流监测和控制功能,可提供高达2000 °C的蚀刻温度。可选的集成涡轮分子泵允许在7.5 μ m的压力下进行高达5 sccm的气体变化,提供高达250的蚀刻增益。这种集成的涡轮分子泵还允许在高通量生产解决方桉中使用。300 iL结合了先进的安全系统,如单个区域百叶窗、燃气机、疏散腿和压力控制。这样可以安全操作工具,消除潜在危险并确保最高级别的安全。此外,高级控制资产还提供直观的用户界面以及自我诊断和软件更新。CORIAL 300 iL提供了最高水平的蚀刻和加工质量,是半导体、MEM和纳米结构制造领域深层蚀刻和灰化应用的理想工具。凭借其紧凑的设计,再加上强大的性能和安全功能,300 iL一定能准确高效地提供最高质量的结果。
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