二手 CORIAL 300 iL #9272962 待售

CORIAL 300 iL是一种高功率感应型等离子体蚀刻器和asher设备。该系统采用专利感应型等离子体发生器，提供比传统电容耦合系统更高的等离子体电离水平，从而提供卓越的性能和可靠性。因此，它已被证明对各种材料的蚀刻和灰化都是有效的。300 iL具有紧凑、形成脉冲的发生器，可精确控制气体输送，产生稳定和均匀的等离子体密度，并提供极其光滑和可重现的等离子体轮廓。发电机还支持多种气体种类和气体，允许用一个单元进行蚀刻和灰化。蚀刻室装有全真空负载锁，可实现快速高效的样品装卸。该室还采用多级抽油机，用于快速、均匀、稳定的样品蚀刻和灰化。它还有一个气体溷合歧管，以确保一个一致和可重复的过程。CORIAL 300 iL提供了下一代感应式等离子体蚀刻和灰化体验，非常适合需要高精度和重复性的半导体工艺。该工具具有出色的工艺控制、高通量和高效的气体处理性能,可满足所有蚀刻和灰化要求。