二手 CORIAL 300 iL #9272964 待售

CORIAL 300 iL是先进的干式等离子体蚀刻器/灰化器，是先进的微米级器件结构设计的理想选择。它具有独特的双梁结构，能够同时蚀刻/结晶2个独立的基板。300 iL是半导体、电介质、抗蚀剂、氧化物层和太阳能电池中高长宽比结构的完美工具。其独特的双梁架构由两个源腔组成，每个源腔彼此隔离，但连接到同一个真空腔。每个源腔都有不同的源气体--一种用于蚀刻，一种用于结晶，具体取决于手头的工艺。两个气源通过一对多级高真空泵泵送，产生超高真空压力（UHV）水平，保证了高工艺重复性。CORIAL 300 iL使用RF（射频）发电机为光束的电离提供激发能量。此射频发电机非常稳定,可设置为以高功率（2 kW）或低功率（400 W）模式运行,具体取决于您的工艺要求。300 iL为源气体成分提供了广泛的操作范围，可与任何类型的工艺气体一起使用。CORIAL 300 iL配备了先进的精密控制电子设备，可以在蚀刻深度和特征尺寸上精确调整蚀刻时间、重复性和精度。基板台和源站的温度都可以设置到适当的水平,以确保整个设备结构的精确温度控制。这使得300 iL非常适合于诸如薄膜沉积等工艺，以及材料生长和扩散工艺。此外，CORIAL 300 iL内置安全系统，确保操作员和机组的安全。万一出现紧急情况，机器自动关机，真空室中所有残留物料安全撤离，工具才能重新启动。300 iL是高级蚀刻/结构应用的最佳选择，适用于所有研发和生产过程。这种功能强大的设备旨在提供高精度的蚀刻和结晶,具有出色的可重复性和稳定性,并且肯定是任何洁净室设施的宝贵补充。