二手 CORIAL 300 iL #9272971 待售

CORIAL 300 iL是部署在半导体行业的先进蚀刻和灰化装置。其平台提供了高精度和重复性的短蚀刻和灰度循环，产生了高质量的表面光洁度。CORIAL 300是为各种蚀刻和灰化需求而设计的，从单晶晶片到多点光敏涂层的灰化。CORIAL 300可以完成多种工艺，包括氯基蚀刻、硅蚀刻和离子铣削。CORIAL 300的平台还提供了出色的过程重复性。蚀刻和灰化工具配备了精密的冷却系统，即使在改变蚀刻条件时也能保持加工温度。这允许操作员在一系列条件下保留相同数量的站点。CORIAL 300还具有全面的灰化能力和防止晶圆间交叉污染的内置功能。300 iL的标准腔室尺寸为600 x 600毫米，布置主腔室时公差为1微米。其自动化的四步过程包括预清洁、蚀刻步骤、后蚀刻清洁和后蚀刻灰泥。该过程由一系列可编程的逻辑控制器控制，这些控制器可以被编程成完美地执行序列。CORIAL 300由三相交流输入方便供电，在0.5千瓦以下功耗最低。CORIAL 300的工作环境温度在15°C至40°C之间，相对湿度在10-90%之间。CORIAL 300还提供低噪声操作，声压水平仅为62 dBA，距离1米。为了保持CORIAL 300在高峰状态下运行，操作人员在必要时应进行维护。为了使CORIAL 300保持最新,应定期更新其软件以确保最佳性能。总体而言，CORIAL 300 iL是一种先进的蚀刻和灰化装置，能够提供出色的过程重复性和高质量的结果。其精密的冷却系统、自动化的四步工艺、低噪声操作，使其成为半导体行业的理想选择。