二手 CORIAL D500 #9386289 待售

CORIAL D500是一种蚀刻/灰化设备,其设计精确度非常高,可满足高端组件的苛刻处理要求。它是一个紧凑而坚固的系统,可提供出色的重复性和过程控制,并且可以根据各种过程要求进行定制。该单元由一个高精度的模块化单层或双层真空室和保形涂层组成，以避免微粒沉积。该机还配备了用于闭环控制的精确温度和压力传感器，允许高效准确的工况监控。D500晶片蚀刻器，是一种多用途工具，能够蚀刻各种基材，包括硅片、二氧化硅、石英、铝、半绝缘基材和绝缘材料。该工艺还可以适合于蚀刻介电层和TSV（透过Silicon Via）结构的多层结构。该资产可配置低压或高压蚀刻工艺，还支持自动晶圆处理和基板预处理。模型设计还允许一个可互换的工艺室，用于具有侵略性化学特性的工艺，如湿蚀刻、深层蚀刻以及使用氯气或AJA蚀刻的可能性。该设备采用超细运动映射技术，提供快速、精确的蚀刻工艺，确保图样晶片和模板晶片之间的工艺匹配成功。CORIAL D500配备了先进的口罩对准技术，用于将图案化的基材与蚀刻口罩进行精确的迭加对准。这有助于在单面或双面基板上进行准确和可重复的蚀刻过程。此外，系统还有一个过程中缺陷监测单元，以提高蚀刻精度和可重复性。D500适合于冷冻和干蚀刻的研发应用以及低批量、高批量生产。该机具有独特的特点，具有高精度、高精度、鲁棒性和优良的工艺控制。CORIAL D500是现代半导体工业具有挑战性的工艺要求的理想选择。