二手 DENTON VACUUM DFE 3 #126422 待售

DENTON VACUUM DFE3是一种多功能的高速蚀刻器/asher,专为一系列蚀刻和灰化应用而设计。它具有低成本和优良的工艺质量，使其成为许多生产线的高效选择。DFE 3配备了12英寸的蚀刻和灰化室，与包括氮气、氧气、氙气和氢气在内的多种加工气体兼容。这使得它非常适合各种蚀刻任务。此外,该设备在蚀刻和灰化过程中都具有高质量的可重复性和可重复性。DENTON VACUUM DFE3提供了先进的工艺控制技术.这包括反馈回路系统、可调流量阀和全温度控制协议等功能。这样就可以根据客户的需要改进流程,从而提供最终的流程控制。该装置还配备了两个独立的工艺气体阀，用于精确控制蚀刻和灰化过程。这一特点得到了坚固的真空室的补充，该真空室能够达到从1微米汞到10-7微米的低压。最后，DFE 3还提供了一系列辅助工具，如负载端口和样品拾取销，以及类似流体的精密运动控制机。综上所述,DENTON VACUUM DFE3是一种可靠、经济高效的蚀刻器/asher,可提供高质量的结果、可重复性和可重复性。它采用了一系列先进的工艺控制，允许精确的蚀刻和灰化工艺。此外，它还能够在真空室中达到低压，并提供一系列附件以提供终极的工艺控制。