二手 DIENER ELECTRONIC PFH 188 #293809318 待售
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DIENER ELECTRONIC PFH 188是一款尖端蚀刻/asher设备,设计用于半导体、微电子和材料科学行业中精确高效的等离子体处理过程。这种功能强大的设备提供了先进的特性和能力,以满足现代研发应用的苛刻要求。PFH 188的核心是其高性能等离子体源,它为表面改性和清洁过程产生了高反应性等离子体环境。该系统利用不同气体的组合,如氧气、氙气和氢气,创造出适合广泛应用的量身定制的等离子体化学体系,包括蚀刻、灰化、表面活化和薄膜沉积。DIENER ELECTRONIC PFH 188中的等离子体源配备了最先进的RF(射频)电源,确保了整个处理室稳定且均匀的等离子体产生。这种对等离子体参数的精确控制使用户能够获得可重现和一致的结果,这对于过程重复性至关重要的研究和生产环境至关重要。PFH 188具有多功能的加工室,具有较大的工作区域,允许处理各种样本量和配置。该腔室配有可靠的真空泵和压力控制系统,以高效疏散大气,创造有利于有效等离子体处理的受控加工环境。为提高用户的便利性和生产率,DIENER ELECTRONIC PFH 188配备了直观、用户友好的界面,用于编程和监控流程参数。该单元提供了一系列可定制的选项,用于调整等离子体功率、气体流速、处理持续时间和其他参数,以根据特定应用和样品要求量身定制工艺。此外,PFH 188还采用了先进的安全功能,以确保操作员在等离子体处理过程中的保护和设备完整性。这些安全机制包括联锁、气体泄漏探测器、超压传感器和紧急关机系统,保障人员和防止实验室环境中的事故。在性能方面,DIENER ELECTRONIC PFH 188提供卓越的蚀刻和灰化功能,可精确控制材料的去除速率、表面粗糙度和选择性。机器能有效地从基板上清除有机污染物、光刻胶、氧化物等不需要的层,留下适合后续加工步骤的干净、清晰的表面图样。总体而言,PFH 188代表了先进等离子体处理应用的前沿解决方桉,将坚固的构造、高性能的组件、用户友好的操作以及先进的安全功能结合到一个通用可靠的平台中。无论是在研究机构、大学还是工业设施中,这种蚀刻/asher工具都提供了必要的工具和能力,以推动微电子学、纳米技术和材料科学领域的创新和进步。
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