二手 DIONEX 2000 #9096845 待售

DIONEX 2000是专门为半导体制造中金属元件的超低温蚀刻和灰化而设计的蚀刻器/灰化器。该设备能够将温度保持在-180°C至+1600°C之间,并具有许多工艺控制选项,例如多级温度区、气流、压力控制和气体清除功能。系统的主要部件包括真空室、泵和洗涤器、工艺电极、加热器和控制器、泵出过程控制、冷却装置和其他硬件组件。该装置还设有一个计算机控制的显示器，用于监测工艺参数，以及一台数据采集机，用于记录每个工艺的温度、压力和其他值。真空室配有气体输入、电极和石墨船，能够有效地装载基板和检查样品工程。该工艺电极有利于蚀刻或灰分工艺,而加热器提供均匀的温度分布.冷却装置使腔室的温度保持恒定。2000年的控制工具在温度精度和控制方面允许高度的精确度。多个温度区域提供了整个腔室的精确控制剖面,允许根据需要编程不同的温度剖面。腔室压力也可以精细控制，腔室可以根据需要用惰性气体清洗。该室还配备了一些安全功能，包括紧急停车控制和气体清除选项。此外，该资产的设计符合国际标准组织和欧盟的安全要求。DIONEX 2000是需要超低温蚀刻和金属灰化的应用的理想选择。其智能控制模型确保了精确的温度控制和压力水平，使其成为一种极其可靠的半导体制造设备。其安全特性、高性能和易于操作，使其成为各类蚀刻和灰化工艺的理想选择。