二手 DIONEX PM 11020 #9245096 待售

DIONEX PM 11020是一种蚀刻器/asher，设计用于化学和半导体制造工艺。它用于去除半导体基板上不需要的裸露特征的过程中。具体来说，PM 11020是一种精确蚀刻工具，在使用锡、铝、硅、磷和其他金属等蚀刻溶液和晶片时提供优越的产量和吞吐量。DIONEX PM 11020是一种精密蚀刻设备，由50 mtor的能力蚀刻室、低电感电源、标准的遥控室门锁、真空总线阀等蚀刻组成。设计方便安装、操作和维护。PM 11020可快速安装，并具有具有安全隔离装置和自动室门锁的专利集成安全系统，可快速精确蚀刻。为确保精度,DIONEX PM 11020采用可调节的气体流量、高性能的盖子释放阀和快速更换的气体头。这样可以确保设备具有精确的气流，并且可以快速释放盖子，以便快速更换晶圆。此外，PM 11020的多步冷却特性确保了对蚀刻过程温度和蚀刻室内氧气浓度的严格控制。此外,DIONEX PM 11020还具有一个独立的超压保护功能,在此功能中,机器会因超压问题而关闭。这是为了确保一旦压力大于额定压力,刀具不会发生故障。污染监测功能进一步提高了安全性，防止蚀刻和晶片暴露于室内的外部污染和氧化物质。此外，该资产还具有便携式控制器，能够更有效、灵活地操作模型。这个控制器包括一个直观的人机界面（HMI），可以让用户轻松地监控、控制和调整操作参数。它还具有故障检测和警报诊断功能,并带有直观的LED指示灯和声音警告,可确保设备正常工作和正常工作。PM 11020还具有支持SPC的集成数据采集系统,用户可以监控流程性能并存储数据以供将来参考。此模块还允许存储和分析蚀刻速率历史记录以进行统计过程控制（SPC）。总而言之，DIONEX PM 11020是一个健壮可靠的蚀刻器/asher单元，具有许多积极的特点。凭借其安全特性、精确的蚀刻和晶圆交换工艺,以及快速的维护要求,这台机器使客户能够在确保安全高效的过程的同时实现优质的蚀刻效果。