二手 DNS / DAINIPPON EPD 9825 #9382342 待售

DNS/DAINIPPON EPD 9825是位于日本的DNS Screen开发的一种蚀刻器/asher。该设备具有最先进的设计，由优质材料组成，为用户提供可靠高效的蚀刻和灰化工艺。这种装置的主体是对称结构，加热室配有石英灯以保证高效加热。它旨在最大程度地减少产品的分解，让用户获得稳定的化学富集或耗尽效应。此外,该设备还配备了多种安全机制,如倾斜监控传感器和风扇,以调节内部热量。该装置有两个主腔室，上腔室和下腔室。上腔是装载反应容器和反应物的地方。下室是进行蚀刻或灰化过程的蚀刻器/灰化器室。其温度范围从室温延伸到500 °C。具有均匀气体分布的整体式沉积可控护套，以及用于激光束尺寸控制的可移动虹膜膜片和狭缝。为了便于化学反应，该装置具有内置的质量流控制器（MFC）和超化学吸附技术。MFC调节气体和材料流向反应容器，而超化学吸附技术有助于加速反应。此外,用户可以通过触摸屏控制器根据应用程序要求自定义流程参数。最重要的是，该设备还具有氧气分析仪和电离型NOx监视器，用于闭环过程控制。氧气分析仪帮助用户监测反应室内的氧气水平，而NOx监测仪则将排放浓度保持在法定限度内。此外,所有与蚀刻器/灰色进程相关的数据都存储在设备的数据记录器中,以便于访问。总的来说，DNS EPD 9825是一种最先进的蚀刻器/asher，为用户提供高效可靠的蚀刻/ashing工艺。它具有数据记录、安全机制和先进的过程控制等特点，是研究人员和实验室的理想选择。