二手 DNS / DAINIPPON / SCREEN SPW-813 #9402412 待售

DNS/DAINIPPON/SREEN SPW-813是由DNS、SCREEN和DAINIPPON的合资企业设计制造的高性能蚀刻器/asher。它是一种由PC控制的SMIF Pod设备提供动力的小巧可靠的设备。该蚀刻器用于材料去除、PECVD和介电灰化等过程。DNS SPW-813是一种直径为8英寸的200毫米垂直蚀刻器和asher。它具有500 mm的最佳刀具距离源,可调工艺时间为0-60秒。它配有两个工艺室，每个室都有不同的功能。第一室用于反应性离子蚀刻（RIE）、各向同性蚀刻和下游等离子体加工。另一个腔室用于电介质灰化，能够处理完整的工艺配方或手动控制。SCREEN SPW 813提供种类繁多的加工气体和化学品，具有高可重复性和高产率的能力。它配备了智能腔室密封系统，可以对晶片进行批量和直列式处理。全自动操作、直观的图形用户界面、先进的过程控制和可靠的操作相结合，是生产的绝佳选择。可靠性与性能相结合，适合各种半导体产品的大批量生产。SPW-813易于使用和维护。它具有友好的用户界面和内置的监视器,可在蚀刻和asher过程中提供实时反馈。监控单元还提供过程时间、温度变化率以及源到目标的距离等信息。它还附带各种操作诊断,如过程警报和警告,以帮助确保高产率和可靠性。SPW 813是一种环保装置。它拥有能源之星评级，并利用其SMIF Pod机降低整体功耗。该设备也符合RoHS标准,不产生对环境有害的材料。它具有从工具中完全提取气体并将粒子生成降至最低的能力。DAINIPPON SPW-813是一款功能强大且可靠的蚀刻器和asher,其制造目的是满足半导体行业的高度期望。它能够提供具有可重复结果和高产率的高性能蚀刻和asher过程。其先进的工艺控制资产和友好的用户界面，使得各种半导体产品能够始终如一地高质量生产。