二手 DNS / DAINIPPON SP-W813-AS #9107314 待售

DNS/DAINIPPON SP-W813-AS是为高质量半导体器件生产线而设计的蚀刻器和asher。它是一种直接离子束蚀刻和灰化设备，可用于氧化、蚀刻和电镀等多种装置工艺。该系统利用了最先进的蚀刻和灰化技术来创建高质量的半导体器件层。通过消除死区，最大限度地减少蚀刻和灰化层的变化，实现了高度精确和均匀的沉积。该单元采用激光诱导化学气相沉积（LCVD）技术，4轴平行机器人，以及高精度微型机器人，使得器层的蚀刻和灰化精度很高。它还具有独特的3D成像摄像机，用于三维空间中的关键成像。该工具使直接离子束能够精确聚焦和扫描，以进行数据检索和过程反馈控制。此外，该资产采用了高质量的温度控制技术，以确保高精度的蚀刻和灰化。DNS SPW-813AS是利用先进运动控制技术在同一X-Y-Z空间内控制二维工件运动的高效模型。该设备还集成了自动检测和检查零件的机器视觉。DAINIPPON SPW813-AS系统旨在实现一致的性能和灵活性。它有一个广泛的参数数据库，可以为各种工艺设置，从晶圆的蚀刻到集成电路板的灰化。另外，该单元适用于各种加工条件，从弱电离氧到各种压力环境下的氮等离子体。总体而言,DAINIPPON SPW-813-AS是一款功能强大的蚀刻和灰化机,可轻松创建高质量的半导体器件层。它利用最先进的蚀刻和灰化技术提供无与伦比的结果。专为优质半导体器件生产线而设计。