二手 DNS / DAINIPPON SPW-612 #9018575 待售

DNS/DAINIPPON SPW-612是一种用于精密蚀刻和灰化任务的蚀刻和灰化设备。该系统非常适合于快速灰化和蚀刻硅片、砷化氙晶片等基材，以及其他半导体基材材料。该单元包括一个12英寸晶片卡盘旋转家，两个电磁执行器是能够XYZ运动，和一个过程气体供应。该机器设计为使用由GFS-1000供气工具提供的过程气体，或者由Argon或Nitrogen。该资产由基于Cerberus SH 1000 NXT PLC的软件控制,该软件用于对自动化过程进行编程,从而使用户能够对多个基板进行矩阵模式处理。该模型还配备了湿蚀刻工艺，利用稀氢氟溶液均匀蚀刻基材。这样可以实现高度精确的蚀刻,而无需依赖手动过程。设备还采用静电载荷夹紧机构，在加工时将基板牢固固定到位。这样可以确保晶片在处理过程中不会脱落。该系统还具有工艺排气鼓风机，其设计目的是减少颗粒污染。DNS SPW-612的灰度和蚀刻系统能够产生小至1微米的图样尺寸,具有较高的蚀刻均匀性。该设备高度可靠，设计目的是减少浪费，为操作员节省时间。该机还能每小时吞吐量高达200晶圆，适用于生产规模蚀刻和灰化任务。该工具还旨在减少EMI排放。总体而言，DAINIPPON SP-W612是一种高度可靠、精密控制的蚀刻器和asher资产，适用于广泛的应用。它能够提供高度精确、均匀的蚀刻和灰度处理,其精确度无法通过手动处理来实现。此模型可减少生产过程中的浪费、时间和EMI排放,非常适合蚀刻和灰化任务。