二手 DNS / DAINIPPON SPW-813A #293642853 待售

DNS/DAINIPPON SPW-813A是一种高级蚀刻器,能够处理掩埋结构、平坦基板和设备复杂的三维结构。这种先进的蚀刻技术可以达到高达1.8µm的分辨率。DNS SP-W813-A能够蚀刻许多底物，包括硅底物、钨、聚酰亚胺和聚合物。也适用于在广泛的半导体基板上单飞或多飞使用。这种先进的蚀刻器利用干条法精确地剥去基板上可能存在的任何涂层。DAINIPPON SPW-813-A能够蚀刻与医学相关的复杂三维结构。这允许大量的应用，从产生声音传感器到产生振动传感器。可以达到的最小线宽和深度取决于使用的电阻器类型，标准线宽为1.9 µm，线深为0.15 µm。DAINIPPON SPW-813A配备了最新的自动装卸设备，每小时最多可处理60个晶圆。这提供了较高的吞吐量蚀刻能力,使其非常适合高批量生产要求。SP-W813-A使用专门设计的气体输送系统在蚀刻过程中提供稳定、均匀的反应性气体流动。该室采用专有的多区行星加热器设计，具有独特的加热器单元，温度和压力水平可调。安装在腔室上的HEPA型过滤器可确保整个过程的清洁度。这个先进的蚀刻器是自成一体的集成真空系统，可以处理高达10-6 Torr（760毫巴）的真空。该加工室采用全自动的二十四步循环时间，对所有材料进行可靠和可重复的蚀刻。SPW-813A是医疗器械行业、消费电子和半导体应用蚀刻应用的绝佳选择。干条蚀刻工艺结合高通量蚀刻能力，为创建复杂、微小的三维结构提供了可靠、高效的方法。