二手 DNS / DAINIPPON SPW-813A #9256956 待售

DNS/DAINIPPON SPW-813A是一种用于半导体制造的蚀刻器/灰度设备。这种装置在用于蚀刻、各向异性蚀刻、等离子体蚀刻、反应性离子蚀刻和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）方面提供了优异的效果。它设计用于四个腔室的操作，使用户能够快速高效地切换蚀刻过程。DNS SP-W813-A配备了多气体引入室，允许用户根据蚀刻材料选择合适的工艺气体。腔室配有四个质量流量控制器和两个加热元件，使用户可以调节气体流量和温度。此外，DAINIPPON SPW-813-A还有一个计算机控制的泵，为各种蚀刻工艺提供精确的定时和压力。DNS/DAINIPPON SPW-813-A也是各向异性蚀刻的高效系统，具有集成的双石英共振频率控制器，用于对蚀刻过程的高精度控制。该单元还允许通过计算机控制的电源精确控制蚀刻电源。DAINIPPON SP-W813-A独特的设计包括一个隔板，将上下石英晶板隔开，允许均匀蚀刻，侵蚀最小。DNS/DAINIPPON SP-W813-A还配备了五种不同的等离子体蚀刻工艺,非常适合同时需要高选择性和高通量的织物。这些过程为离子植入等离子体蚀刻、纯电离干蚀刻、电离气体溷合物干蚀刻、改性稳定气体溷合物湿蚀刻和15伏等离子体蚀刻。DAINIPPON SPW-813A还具有计算机控制的相位蚀刻，控制电磁场的相位，以提高工艺效率和均匀性。最后，DNS SPW-813-A对等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）工艺具有很强的适应性。这台最先进的机器配备了集成的射频和直流电源，使用户能够在两者之间快速切换并定制沉积过程。此外，DNS SPW-813A与各种气体兼容，可以精确选择沉积气体比和压力。DNS SP-813A是一种用于半导体制造的顶级蚀刻器/灰度工具，能够进行精密蚀刻、各向异性蚀刻、等离子体蚀刻、反应性离子蚀刻和PECVD工艺。其可调、多气体引入室、集成双石英共振频率控制器和五种等离子体蚀刻工艺的选择，使其成为一种通用、高效的蚀刻工具。此外，它的计算机控制电源和沉积气体的选择为用户提供了对沉积过程的大量控制。