二手 DNS / DAINIPPON TE-650G #9383289 待售
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DNS/DAINIPPON TE-650G是一种用于精密、精确制造高级半导体集成电路的蚀刻和灰化机。它采用高压气相陶瓷反应工艺,蚀刻晶片表面上错综复杂的特征,以便为晶体管、二极管、电容器等设备制造高密度的焊盘。该机具有强大的双室加热系统,能够达到高达1600°C的温度,为晶圆的精确蚀刻提供完美的热控制。它还具有高压干蚀室,可达到高达10-4托的真空。该装置的精确度进一步得到了控制频率的喷气阀的保证,这些喷气阀在适当的时间输送精确数量的材料,从而创造出最佳的蚀刻特性。该系统还具有温度和压力传感器,允许用户实时密切监控蚀刻过程。为了提高效率和降低成本,DNS TE-650G包括一个复杂的可编程控制器,允许用户存储其蚀刻配方,快速回忆它们以创建可重复的结果,并根据需要对过程进行微调。此控制器还需要最少的设置时间,同时允许用户快速调整设置并存储复杂的蚀刻配置文件。DAINIPPON TE-650G还与高级光学检查系统兼容,允许用户以高精度审阅蚀刻特征。这台机器是进一步保持安全与安全与全面的安全系统到位。其中包括在危险情况下关闭过程的气体和压力关闭系统,以及防止灰粉进入工作空间的双向风扇。TE-650G是一种精确度和可重复性的先进制造工艺的绝佳工具。其强大的加热、蚀刻和可编程控制器系统使其能够满足先进集成电路制造的期望。
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