二手 DRYTEK 384T #9083713 待售

DRYTEK 384T是一种蚀刻器/asher，设计用于最苛刻的微电子和薄膜材料加工应用。它是为反应性离子蚀刻和等离子体辅助蚀刻和灰化程序而设计的，用于包括半导体、生物医学、制药和通信在内的广泛行业。384T有一个24 x 24英寸（610 x 610毫米）的腔室,最大晶圆尺寸为4英寸（100毫米）。真空室采用优质不锈钢制成，并配有超低O2/N2气体控制系统。该系统允许通过触摸屏面板精确控制流程配方。DRYTEK 384T可达到从室温到1000&deg； C的工艺温度,基本压力为0.5 mtorr。它还具有可调的高频射频电源，用于等离子体蚀刻和灰化。384T有各种各样的附件可用于自定义应用程序设置。这些包括快门系统、运输系统和反应级推车。运输系统提供了完整的晶圆运输解决方桉，包括样品准备和操作与可互换的机械臂。反应级推车允许使用热电偶、温度控制器和各种其他加热元件定制系统。DRYTEK 384T 蚀刻器/asher是为可靠性和易用性而设计的,具有内置的安全和诊断系统。这些系统提供实时流程监控和反馈,以优化流程产量。集成离子束源允许UV增强蚀刻和灰化，以实现高选择性和低残留损伤。此外，晶圆微调器能够达到高达50,000 rpm的速度，允许精确的均匀性和均匀性控制。384T适用于广泛的蚀刻和灰化应用，包括高密度等离子体蚀刻、高速率灰化、选择性蚀刻、反应性离子蚀刻（RIE）和晶片抗蚀工艺。其坚固的设计，加上可靠的控制和清洁特性，提供了出色的过程稳定性和可重复性。此外,它还具有长期的成本效益和维护优势。DRYTEK 384T专为最复杂的材料加工要求而设计,使其成为任何蚀刻或灰化应用的理想解决方桉。