二手 DSS Gemini 820 #9156790 待售

DSS Gemini 820是一款为半导体工业中的干蚀刻应用而设计的蚀刻器/asher。它提供了广泛的蚀刻功能,使其成为工艺开发和生产应用程序的理想选择。双子座820具有多种工艺室，包括：三个端点反应室、三个入射照明室、两个裂缝室、两个微波端点传感器和两个气体死体积。它还具有用于均匀蚀刻的超声波溷合室和用于电阻涂层的BioSpray室。DSS Gemini 820通过其软件机制提供了更高的流程准确性和统一性。它旨在快速、准确地实现所需的模式。这些软件机制还能够以± 7%的精度和1.5纳秒的精度检测蚀刻的端点。此外，DSS Gemini 830还具有低氧水平监测器，用于实时监测工艺室内的环境条件。此功能确保了蚀刻质量的维护,并消除了手动环境监控的需要。DSS Gemini 830提供了最大限度的过程控制和控制过程流体如Argon、XeF2、CHF3和CF4。它还具有两个独立的压电阀，用于仔细控制腔室压力。该过程可以手动启动,也可以使用预设配方参数启动。独立的等离子体腔室控制器允许对每个腔室进行独立控制。DSS Gemini 830具有多种安全功能,包括在检测到紧急情况时自动关闭腔室。它还采用模块化设计,便于安装和维护。其高级PC软件提供易于使用的机器控制、配置、监控和数据记录。总体而言,DSS Gemini 830为蚀刻工艺提供了许多优势,从提高精度和一致性到改进过程控制和安全功能。它是工艺开发和生产应用的理想选择，并提供了一套全面的干蚀刻功能。