二手 E&R Plasmax-1000N #293653208 待售
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E&R Plasmax-1000N是一种专门为各种基材制备、蚀刻和底蚀应用而设计的蚀刻器/粉碎器设备。它利用先进的等离子体源技术创造了广泛的精确和可重复的等离子体工艺条件,从而能够精确控制一系列参数,包括温度、压力、流量和电解质浓度。Plasmax-1000N由两个主要组件组成-离子源和处理室,这两个组件都装在一个紧凑的单一机柜中。该加工室采用先进的静电放电(ESD)技术对基板进行精密蚀刻和灰化处理。ESD技术产生了一个静电、非接触的离子源,允许精确控制等离子体产生的过程条件,从温度和压力到种类和反应物浓度。此外,E&R Plasmax-1000N能够产生高分辨率、精细特征的蚀刻,其功能可低至100 nm,从而实现精确的图样蚀刻和选择性灰化工艺。Plasmax-1000N能够容纳各种各样的基材,包括石英、玻璃、硅和其他材料。它还包括离子植入、离子溅射、气相蚀刻等先进的基于等离子体的技术,以及获得专利的等离子体屏蔽技术。这项专利技术使该系统能够在超高清洁环境中运行,提供卓越的基材制备、蚀刻和底蚀工艺。E&R Plasmax-1000N是一种高效可靠的微加工和纳米加工应用工具。它易于使用,其精心设计的用户界面允许对工艺参数进行精确控制。该室是独立的,完全封闭的,在操作过程中提供高度的安全。此外,Plasmax-1000N还提供节能操作,在大多数应用中使用低能、低压等离子体源。总体而言,E&R Plasmax-1000N是一个先进的蚀刻器和asher单元,设计用于苛刻的基材制备,蚀刻和底蚀应用。它提供了精确、可重复和可预测的等离子体工艺条件,从而能够精确控制各种参数。ESD技术、先进的基于等离子体的技术、获得专利的等离子体屏蔽技术使机器能够产生高分辨率的蚀刻和选择性的灰化工艺,而独立的腔室和用户界面确保安全高效的操作。
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