二手 E&R Plasmax 600A #9217455 待售

E&R Plasmax 600A Etcher/Asher是一种全自动蚀刻和灰化设备,用于各种具有挑战性的应用。它具有等离子体蚀刻、湿蚀刻和干灰泥/剥离的能力，可以用于广泛的蚀刻和灰泥操作。此蚀刻/灰分系统允许用户轻松编程和调整蚀刻和灰分参数,以实现高效且可重复的过程控制。Plasmax 600A采用模块化设计,内置射频发生器和紧凑的匹配网络,可满足各种频率（最高950 MHz）的要求。这台机组配备了一台用于等离子产生的内置高压发电机和一台发射计，用于测量蚀刻/灰化操作过程中的等离子发射水平。E&R Plasmax 600A还具有集成的安全机器，具有联锁和报警功能，以防止操作过程中发生事故。此蚀刻器/Asher提供了经过优化的工艺室,旨在改进蚀刻、灰化和干式剥离性能。它具有石英窗和快门、真空泵、数字过程压力控制工具以及用于监测蚀刻/灰化性能的真空计。Plasmax 600A还具有氮气和氧气输入端口以及集成的质量流控制器,以确保精确、稳定的蚀刻和微加工过程。蚀刻器/asher还拥有种类繁多的配件，以定制其操作，满足各种要求。这包括静电卡盘、用于加工精细材料的特殊级和板、用于控制工艺区域的光学蒙版以及用于保护昂贵元件和基板的防污染（APC）资产。此外,还可以升级E&R Plasmax 600A,为更专业的应用程序添加额外功能。例如，模型可以装有电容耦合等离子体（CCP）显示器、用于高效散热的多级不锈钢平台或用于改善等离子体均匀性的惰性气体发生器。总体而言,Plasmax 600A是一种高度可靠和精确的蚀刻和灰化设备,可用于各种具有挑战性的应用。它旨在提供最大的过程灵活性和可重复性,从而实现卓越的过程控制和改进的性能。