二手 E&R Plasmax-602A #9157568 待售

E&R Plasmax-602A是一种高度可靠和精确的蚀刻器/灰化器，旨在满足现代生产线制造的需要。它具有创新的"开放式体系结构",带有16个位置的旋转木马,最多可容纳16个晶圆-所有这些都可以与多达8个晶圆层对齐。这样可以确保即使是多达16个晶片也可以同时以高精度蚀刻或粉刷。Plasmax-602A具有刚性但灵活的设计,可确保高精度。其集成电源设备具有负载线补偿、快速响应的高频电源,以及输出高达600 V的直流电源。这使得晶片能够精确蚀刻或粉刷，同时保持高度的均匀性和可重复性。E&R Plasmax-602A还具有出色的安全特性。其真空II级安全级别确保系统免受外部污染。此外，它还包括一个可选的安全微开关，以及一个介电膜安装选项，以进一步提高安全性和降低风险。Plasmax-602A还能够处理各种蚀刻和灰化材料,并为介质装卸提供易于访问的侧端端口。它的过程控制效率很高,支持PC和PLC控制系统,以及全面的数据采集。其直观的用户界面允许简单的流程开发以及关键的流程监控功能,以确保最佳的单元性能。最后,E&R Plasmax-602A配备了高级传感器阵列、模块化工艺套件和快速释放部件盒等功能。这样可以确保机器具有很高的适应性,并且能够满足各种应用程序的独特蚀刻和灰化需求。此外,其全面的服务包可确保在未来几年内保持最高性能运行。