二手 E&R Plasmax 602A #9217454 待售

E&R Plasmax 602A是一种用于半导体加工业中薄膜材料沉积和蚀刻的蚀刻器和灰化器。这种工业级工具利用同轴等离子体源实现了高质量、可重复的结果。该设备采用基于电感耦合、同轴双波导等离子体源的电子回旋共振（ECR）技术，在控制功率需求以满足产品需求方面提供了灵活性。此外,ECR屏蔽对相邻工具造成的电气干扰最小,同时具有出色的温度控制和效率,从而实现可靠的工艺结果。基于ECR源的系统允许等离子体辅助去薄功能去除底物表面的抗性残留物。该工具还采用了"Cr-Blocker Plate"设计，防止含有铬的颗粒在工艺室内释放，从而不会发生额外的环境污染。化学氧化物的去除也可以用这种工具来实现，根据需要去除的氧化物类型使用各种化学物质。对于蚀刻速率控制，Plasmax 602A配备了射频扫描和轴向偏磁控管技术的组合，产生了广泛的精确功率水平，用于蚀刻不同的材料。此外,集成的闭环反馈控制可确保过程的准确性和可重复性。该装置能够处理200毫米晶圆，将来能够将加工扩展到300毫米晶圆。该工具还具有双风扇气泡和热不对称淋浴控制的过程气体输送机,可确保均匀的气流,以及可靠的气体压力和温度稳定性,从而实现更均匀的蚀刻过程。E&R Plasmax 602A适用于高精度、高产产品的各种氧化物蚀刻和去磨工艺。该工具以其可靠性、准确性和成本效益而着称，有助于在半导体加工业中实现最大产量。