二手 E&R Plasmax 800C #293748025 待售

E&R Plasmax 800C是E&R为多种材料的等离子体增强干蚀刻而设计的蚀刻器/灰化器。Plasmax 800C是一款用于薄膜沉积和复合半导体器件制造的强大工具,旨在为用户提供最大精度和可重复性,以确保零件质量一致。该设备具有坚固的底座设计,可实现可靠的长期运行,包括减振、平衡控制以及易于维护和维修。用户界面全面易用，使用户能够快速启动运行，快速、轻松地创建复杂的蚀刻模式。E&R Plasmax 800C的核心是集成的高压等离子体源，其设计可提供卓越的蚀刻性能。等离子体源在广泛的压力范围内运行，具有可调参数，可以精确控制工艺气体的化学、温度和种类分布。在较高的压力下操作时，系统最大化蚀刻选择性和选择性控制，而在较低的压力下则可用于许多材料的批量加工。Plasmax 800C完全自动化,使用户能够编程和保存特定蚀刻模式和过程的配方。全自动源和过程控制功能允许更高的流程一致性和准确性,并允许客户创建独特的自定义流程。激光高度计量和防护性硬化涂层等各种可选功能进一步增强了设备的功能,使用户能够在多种材料中实现广泛的工艺技术。此外,E&R Plasmax 800C附带了一系列旨在简化机器操作的直观软件工具,包括基于配置文件的配方、单步晶圆模式识别以及编程和存储配方的能力。Plasmax 800C是一款功能强大但易于使用的蚀刻器/asher,可提供业界领先的性能和灵活性。它提供了卓越的蚀刻速率、卓越的选择性控制以及可靠、可重复的结果,并可以帮助客户快速轻松地从手动流程过渡到高效的自动化流程。