二手 E&R Plasmax 800C #9364455 待售

E&R Plasmax 800C是一款Etcher/Asher，设计用于亚微米器件几何形状的等离子体灰化、蚀刻、剥离和修剪蚀刻。该800C能够处理氧化膜和非氧化膜，具有亚微米大小的特征，并且可以加工直径不超过400毫米和厚度不超过30毫米的基板。蚀刻器/asher装有一台等离子体发电机和一台快速、自动化的装卸设备。它与特殊的真空密封设计兼容，创造出10-5-10-7 Torr的真空（Torr是压力的单位）。该800C设计用于在低温（最高150 °C）下蚀刻,并在核心系统周围进行隔热,以抵消热冲击的影响。Plasmax 800C的工艺室可以配置为氧化物或非氧化物材料。它提供多种蚀刻功能，从冷氧等离子体蚀刻到反应性离子蚀刻。该腔室还包括一个四级淋浴台设计，它在大型基板上提供更均匀的蚀刻速率。此外,蚀刻器/Asher还配备了带有石英透镜的玻璃陶瓷观察窗,因此用户可以监控蚀刻过程,并相应调整参数。E&R Plasmax 800C包括先进的可配置等离子体工艺,能够控制气流,以及其他参数,包括压力、温度和蚀刻时间。蚀刻器/asher还提供自动过程控制,允许用户设置所需的参数并接收有关设备性能的自动反馈,同时最大限度地减少处理时间。该腔室设计方便维护，可配备维护套件，便于维护和故障排除。Plasmax 800C是一种可靠、高效的蚀刻/烧结机，使亚微米器件几何形状成为微风。它具有快速、自动化的负载/卸载工具和先进的过程控制功能,使其成为各种过程的理想选择,从蚀刻到等离子体灰烬。其低温蚀刻和高度可配置的工艺保证了可靠的性能和高效的效果。