二手 ESC ELAS #9156747 待售

製造商
ESC
模型
ELAS
ID: 9156747
晶圆大小: 4"-8"
PVD System, 4"-8" Sputter down cassette to cassette Standard BROOKS Robot system CTI Cryo pump main chamber, 10" CTI Cryo load lock, 8" Turbo pump / Rotary pump ADVANCED ENERGY Pinnacle DC MAGNETRON Power supply ADVANCED ENERGY RFPP RF20S Power supply Techware II Ultra (3) Targets plus RF etch station: 20.25" x 4.75" Dual level load lock Bulkhead mounting maximum substrate size (Through-wall): Large area substrates: Up to 16" x 16" MRC 943 PVD System Batch size: (4) Wafers, 8" (6) Wafers, 6".
ESC ELAS(Electrostatic-Lithograph-Asher的缩写)是由Esterline Corporation开发的先进蚀刻和灰化机。ELAS旨在为原型制作和大批量生产应用提供可靠和可重复的结果。ESC ELAS是一种模块化蚀刻和灰化设备,由三个连接单元组成:iMix、iControl和iX-max。iMix提供了蚀刻和灰化所必需的化学,而iControl则是用于蚀刻和灰化过程的控制器,允许对过程进行精确的控制,以及数据采集。iX-max是一种高精度x轴运动控制系统,可帮助自动执行蚀刻过程。ELAS使用静电光刻技术运作。这种类型的光刻利用蚀刻溶液,当暴露于先前有图样的基材时,去除不必要的材料,只留下蚀刻在表面的所需特征。其结果是比传统湿蚀刻工艺能实现更高精度的蚀刻。ESC ELAS能够蚀刻和灰化多种材料,包括铜和其他金属,以及电介质和半导体。ELAS为微米级特性提供了出色的分辨率和模式,具体取决于所使用的底物和化学成分。它也是一个高度灵活的机器,允许一系列的蚀刻和ashing过程,可以根据精确的用户需求进行定制。ESC ELAS单元包括一个集成的计量机,在蚀刻和灰化之前、期间和之后提供对基板的检查和监控。集成计量模块允许重复快速扫描晶圆以进行非接触和无损测量。此外,ELAS设计为用户友好,允许操作员使用直观的图形界面从触摸屏或远程计算机操作流程设置。总体而言,ESC ELAS是一种可靠而有效的蚀刻/灰化机,旨在提供高精度和精确的结果。它是一种多用途的机器,配备了先进的技术和集成的计量,非常适合原型和大批量的生产应用。
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