二手 EUROPLASMA CD1000 Nanofics #9311808 待售

EUROPLASMA CD1000 Nanofics是专门为半导体微机械应用而设计的干蚀刻和灰化系统。它将高精度空气和反应性气体等离子体加工结合在一个单元中，实现了一个纤细、均匀的蚀刻轮廓和严密的特征控制。CD1000 Nanofics配备了双级质量流控制器，可实现精确、自动化的蚀刻和灰化速率以及压力调节。这提供了改进的过程重复性和更精确的蚀刻/灰轮廓。它还配备了低压射频发电机，使系统能够在较低的压力下达到更高的等离子体密度和离子能。这使它能够在非常低的温度下蚀刻材料，以最大程度地减少热损伤并实现更均匀的蚀刻结果。EUROPLASMA CD1000 Nanofics是一个开源平台，允许用户定制和编程自己的等离子体过程。它专为多种材料而设计，包括Si、SiO2、SiN、SiC、GaN和有机电介质。它可以蚀刻或灰分到10nm或以下的厚度,特征尺寸小至50nm。它能够在大气和降低的压力下进行蚀刻和灰化，并且可以达到-60°C以下的温度。它还具有用于100纳米以下特征蚀刻的自动原位基板支架。支架减少了微载荷，并允许更多的重复和准确的特征。总体而言，CD1000 Nanofics是一种先进的蚀刻和灰化系统，设计用于各种材料的快速、精确微加工。其低温、低压等离子体技术、低热损伤、重复性的结合，彻底改变了半导体蚀刻和灰化的应用。