二手 EUROPLASMA CD300 PLC #9409746 待售

EUROPLASMA CD300 PLC是为半导体、光电、MEMS和太阳能电池行业的先进等离子体处理应用而设计的等离子体蚀刻器/灰光机设备。该系统具有用于优化工艺参数的直观触摸屏界面、改进的安全特性以及用于各类基板自动装卸的专利单槽单元。CD300 PLC有一个大的等离子体腔（915毫米x 690毫米x 795毫米），带有两个侧面端口，可用于样品传输和远程等离子体监测。EUROPLASMA CD300 PLC是一种高功率、射频（RF）驱动的等离子体蚀刻/灰化机,可处理直径达300 mm的基板。该工具采用高效、低温的化学反应，允许精确和可重复的化学蚀刻和灰化。工艺压力和射频功率可动态调节,可针对特定应用进行调整。CD300 PLC还配备了一个自动化的质量控制资产来监控每个等离子体处理过程。包括基材温度、工艺时间、等离子体密度、化学成分等工艺参数可以实时监控，并在日志文件中监控以备将来参考。该模型还包括一个专有的Automated Sample Loader,它可以与机器人运输设备集成,以促进过程的完全自动化。蚀刻/灰化工艺是在完全密封的环境中进行的，所有工艺气体都受到监测，并保持最佳浓度。除了高效的等离子体蚀刻和灰化，EUROPLASMA CD300 PLC可以用于等离子体表面清洁、钝化和沉积过程。安全特征包括防雷和防护罩的全区域互锁，以防止过程污染和人员危险。此外，该系统还配备了高效的残余气体分析单元和过程监测机器，可用于查明过程波动。总体而言，CD300 PLC是一种强大的等离子体蚀刻/灰化工具，为先进的等离子体处理过程提供精确的控制和可重复性。大腔室大小、自动化样品加载、安全特性和远程监控，使其成为各种等离子体处理的理想选择。