二手 EUROPLASMA CD400 #9105430 待售

EUROPLASMA CD400是A系列等离子蚀刻器/Asher,非常适合广泛的工艺应用。CD400成本低,吞吐量高,是实验室、大学研发中心、半导体和MEMS制造商寻求卓越性能和精确度的绝佳选择。EUROPLASMA CD400利用先进的耦合剂/冷却剂设备在真空下清除样品表面的污染物。这个系统使用了一种专利的、类似陶瓷的、等离子体反射膜来防止粒子进入反应室。该工艺应用在广泛的温度范围内，确保了统一的加工和精确的结果。CD400的反应室装有温度无关的E枪阵列，使亚微米逐层蚀刻和灰化金属、氧化物、氮化物和聚合物。E-gun阵列提供了可调的停留时间，允许蚀刻工艺的优化以满足特定的性能要求。可调的停留时间还使用户能够为不同的材料选择不同的工艺配方，简化工艺优化过程。EUROPLASMA CD400能够提供尺寸小于0.1 µm的特征,具体取决于蚀刻参数。亚微米特征是通过不同材料的蚀刻速度和灰度速度的差异来实现的。CD400还提供高吞吐量，因为蚀刻时间可以减少。此外,EUROPLASMA CD400能够提供广泛的流程参数,使用户能够优化流程以获得最佳性能。CD400也是同类产品中最节能的设备之一，因为加热的基板杯是用来交换能量的。该装置还具有主动流量稳定功能，可提供稳定的过程气体供应，而无需压力控制。这降低了能耗，也确保了高水平的可重复性。为了提高安全性，EUROPLASMA CD400包括使用故障安全限值传感器和自动关闭的安全监控器。安全监控器不断监控过程参数，确保安全和遵守当地法规。CD400是各种蚀刻和灰化工艺应用的绝佳选择。它结合了先进的技术、用户友好的特性和高性能，使其成为任何研发实验室或生产线的理想机器。