二手 FEMTO COGRADE RF300 #9066064 待售

FEMTO COGRADE RF300是专门设计用于实验室的蚀刻和灰化机。它非常适合亚微米薄膜的沉积和蚀刻、高精度微机械加工以及其他形式的材料加工等应用。RF300装有完全可编程的射频发生器和独立的蚀刻室。控制面板用户友好,为用户提供了一个直观而强大的界面,用于创建蚀刻和灰化循环。发电机的频率从5 kHz到2 MHz，可以提供一个单波或两个射频信号的组合，最多四个信道。它还具有低磁控管功率、低内部电感和良好的场均匀性.RF300的蚀刻室通过红外灯加热。温度可由0°C调整至300 °C。这使得它适合在最高温度下加工材料。腔室还设有光学检查端口，使用户能够观察蚀刻过程。COGRADE RF300还支持其他进程以实现广泛的应用程序。这包括湿蚀刻、湿清洁、钝化和阳极蚀刻。为了利用所有这些功能，它还配备了一个原位气体输送系统，能够在循环期间精确控制气体。FEMTO COGRADE RF300还配备了一个专用真空控制器,可持续监测系统压力。这消除了手动校准的需要，并提供准确的结果。此外，蚀刻器还能够与其他仪器结合使用，如光学显微镜，这对于精确分析蚀刻表面结果很有用。总体而言,COGRADE RF300为各种应用程序提供了强大的控制、精度和灵活性。凭借其直观的用户界面，它非常容易使用且高度可靠。这使其成为任何实验室环境的理想工具。