二手 FOI RYDEEN 10000 #293640226 待售
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ID: 293640226
Descum system
(2) Load ports
(2) Process chambers
Transfer chamber
PMC Rack
Power rack
SMC Chiller
Gases:
O2
N2
H2
CF4.
FOI RYDEEN 10000是一种最先进的蚀刻器/灰化器,非常适合从薄膜热处理到介电材料激光烧蚀等多种应用。这个先进的蚀刻器/asher能够处理各种材料，如金属、聚合物、玻璃、陶瓷和二氧化硅，提供对蚀刻过程的终极控制。FOI RYDEEN-10000采用9 "x 9"石英压板设计，非常适合小规模加工。该装置配有300W射频发生器，确保每个过程都能精确和可重复地进行。发电机可调，使用户实现了完美的蚀刻速率和重复性。此外,Etch Module Controller （EMC）允许用户控制蚀刻速率并确定流程。RYDEEN 10000还配备了真空环境，非常适合控制蚀刻工艺。这种真空系统有助于减少蚀刻副产物，防止污染和保护正在加工的材料不被氧化。此外，抄写员模块确保在蚀刻之前抄写员线条的精确位置。该蚀刻器还包括一个用于精确控制工艺气体的气体入口系统，以及用于连续温度和压力监测的传感器。此外,该设备还配备了冗余安全功能和直观的用户界面。RYDEEN-10000提供清洁、可靠的蚀刻和高重复性,使其成为各种蚀刻应用的完美设备。它提供了对蚀刻工艺的精确控制，温度和压力可以调整以满足任何工艺要求。该装置还易于设置和操作，为任何蚀刻工艺提供了可靠的解决方桉。
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