二手 GASONICS 9102 #9231046 待售

GASONICS 9102是一款坚固、经济高效且用户友好的蚀刻器/asher设备。该系统的设计重点是为用户提供高效可靠的蚀刻和灰化解决方桉,并提供最高级别的性能。9102具有高级、易于使用的控制单元和彩色图形用户界面,以及多个程序内存。机器提供对所有主要蚀刻和灰化参数的精确控制，包括蚀刻温度、压力和持续时间。它还能够存储用户定义的配方,这些配方允许简单、一键式操作和减少停机时间。该工具具有多种安全功能,例如自动预防性维护和过温保护。采用不锈钢和碳化硅制成等离子体灰烬室，具有优异的蚀刻性能和均匀性。GASONICS 9102的占地面积很小,可以轻松安装在实验室的长凳上。9102具有多种可选功能,可根据用户的需要对其进行定制。其中包括残留物分析和生产跟踪等高级诊断，以及可以安装在资产上的多个烧蚀源。GASONICS 9102除了具有灰度和蚀刻能力外，还可以进行基于臭氧的表面清洁作业。这是通过一个集成的臭氧发生器模块实现的，该模块可以在蚀刻室内产生可控浓度的臭氧气体。9102是一种可靠、高效的asher/etcher模型,旨在满足最苛刻的应用。其先进的功能、易用性和广泛的选项,使其成为希望以最少的维护实现高质量结果的用户的理想选择。