二手 GASONICS Aura 1000 #293690392 待售
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ID: 293690392
Ashers
Wiring schematics
O-Rings
Spare parts:
Serial cable
Optical sensor
Various screws
Brackets
(15) Halogen lamps
(3) Glass discs
A06-010-01/H Plasma tube
HITACHI 2M121A Magnetron
MKS 152E-P0 Valve controller
(2) Notebooks with process notes
(2) Binders with printed manuals
Manual:
(3) Services
Training
Operator
Maintenance.
GASONICS Aura 1000是为最苛刻的工艺而设计的精密蚀刻器和asher，特点从100 mm晶圆加工到400 mm晶圆加工。这种精密的蚀刻器和灰化器允许高性能的等离子体蚀刻和灰化过程结果与最小的样品损坏。该系统具有两个源腔室,允许用户配置最多三个腔室和一个可选的ashing腔室的工具。每个源室都有两个独立的气源，有各种备选方桉可用于满足确切的工艺要求。系统通过直观的WIN TESS软件专用控制器进行控制，以确保精确的过程控制。对基板偏差和级温度的可靠、精确的温度控制始终保持不变，提供一致和可重复的结果。该系统具有先进的工艺控制能力,通过对机载气源的精确校准,可以控制蚀刻偏差、真空水平、流量、护套流量和压力。Aura 1000还包括一个包含可固定膜单元（RMA）的可选腔室,可提高蚀刻和灰化过程中晶圆的均匀性。获得专利的RMA技术在某些应用中提供了更高的产量。GASONICS Aura 1000旨在通过实时监控和显示有用的过程参数，如气压、流量、温度和真空水平，提供容错能力。这允许用户以最小的损坏风险提高产量并实现一致的性能。机器直观的操作员显示面板提供识别、理解和解决任何问题所需的一览表信息。Aura 1000旨在减少循环时间,同时提供卓越的均匀性和蚀刻性能。随着GASONICS无与伦比的支持和世界领先的等离子体蚀刻和灰化过程，用户总是保证快速周转。
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