二手 GASONICS Aura 1000 #293746361 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款蚀刻器/asher，专为快速、精确的蚀刻和灰化半导体晶圆表面而设计。它具有较快的周期时间和较高的吞吐量,旨在实现生产环境中的最佳性能。GASONICS Aura 1000有两个单独的蚀刻和灰化模块。蚀刻模块使用高真空等离子体工艺对半导体晶圆表面进行电刷。这个过程使用高能电源，在高真空环境中与气体分子相互作用时产生强大的等离子体。然后用这种等离子体以高度控制的方式快速蚀刻晶片表面。蚀刻模块还配备了叶轮，有助于将气体分子均匀地分布在工作室内，确保一致的蚀刻结果。Ashing模组使用快速热处理，安全地从半导体晶圆表面移除有机材料。它使用感应加热器将晶片快速加热至高达1700 °C的温度。这一过程导致有机材料汽化，留下一个干净的晶片和一层氧化物的保护材料。灰化模块还配备了惰性气体输送系统，该系统不断向工作室提供惰性气体流动。这有助于保持低氧水平，防止晶片表面氧化，提高整个过程的可重复性。最后，NOVELLUS Aura 1000具有最先进的晶片处理机制，允许各种尺寸和材料的晶片从源托盘安全转移到晶片支架。这样可以确保晶片在腔室中的精确放置,并确保晶片表面的精确蚀刻和灰化。总体而言，Aura 1000是一个高效、精确的半导体晶圆蚀刻和灰化平台。它专为生产能力而设计,其周期时间、吞吐量和精确的蚀刻/灰化结果使其成为高产能生产环境的理想选择。