二手 GASONICS Aura 1000 #293764333 待售

GASONICS/NOVELLUS A 1000是一种高级蚀刻器/asher,主要用于半导体生产。它是一个功能齐全的蚀刻器/asher,包括前端处理功能和后处理反角清洗技术。GASONICS A 1000具有10区先进的等离子体源，提供均匀的过度喷雾去除，最大限度地减少颗粒污染和提高过程重复性。机器的高级光掩码操作允许对各种光掩码进行无缺陷处理,包括BEOL和BEOL/后端 （ULE和BAL）光掩码。蚀刻器可以加工直径最大200毫米的晶片，晶片尺寸从200毫米到6英寸不等。其独特的蚀刻窗口可以根据个别参数进行编程和优化，而不会影响机器的性能。NOVELLUS A1000可以加工各种电介质和半导体材料，其内部闸级清洁技术确保低污染工艺结果。先进的排气设备还确保有效和长期的空气过滤，同时也排除划痕。为了管理蚀刻配置文件,该机器附带了扫描选择技术,该技术允许对不同的晶片和基板进行分析以进行测试。它还提供3D曲面阵列,以更精确地控制蚀刻特征的轮廓。此外，它还具有一个温度控制系统，该系统允许对基材进行温度控制的蚀刻，以及一个用于监测晶片形状和轮廓的清洁诊断单元，从而实现实时过程控制。总体而言,A 1000是一款高级蚀刻器/asher,旨在满足最高级别的工业要求。它的许多特点，从它的高级工艺能力到它的高级清洁诊断机器，使它成为任何蚀刻或灰化应用的绝佳选择。