二手 GASONICS Aura 1000 #293810521 待售
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GASONICS/NOVELLUS A 1000是一种蚀刻器或asher,提供高效、精确的蚀刻和ashing结果。这款先进的蚀刻器/asher具有许多独特的特点,使其成为工业和科学应用的绝佳选择。GASONICS A 1000由自动级和喷嘴设备、自动问题解决器和坚固的处理室组成。全自动级系统允许基板的精确移动,而喷嘴单元提供高达7 torr的过程压力和广泛的过程气体。此蚀刻器/asher还具有自动问题解决程序,用于识别和解决流程中的任何问题。坚固的加工室提供了一个稳定的工艺环境,在各种材料和工艺条件下都有可重复的结果。NOVELLUS A1000利用先进的多步等离子体蚀刻和灰化工艺来获得最高的精度和精确度。等离子体蚀刻过程使用受控电压和功率来创建图样化的金属化结构。Ashing process use a series of pulse and timed pulses to remove target material from the基材.这些过程的结合可以在各种材料上获得高度精确和可重复的结果。NOVELLUS A 1000能够处理多种基材,包括硅、金属合金和玻璃。这种蚀刻器/asher也被设计为与各种化学品兼容,包括酸和碱。这样就可以根据特定项目的需要量身定制流程。1000与多种传感器技术兼容,可以配置附加功能,如真空泵和安全功能。总体而言,GASONICS/NOVELLUS A1000是一款先进的蚀刻器/asher,可提供高效、精确的蚀刻和灰化结果。它结合了坚固的加工室与高度先进的自动化级和喷嘴机、自动问题解决器以及广泛的兼容材料和化学品。GASONICS A1000是各种基材和材料精密蚀刻和灰化的绝佳选择。
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