二手 GASONICS Aura 1000 #293811532 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一类用于半导体集成电路（IC）制造的蚀刻/灰烬设备。该Etcher/Asher系统设计用于进行精确等离子体蚀刻和化学气相沉积（CVD）处理。它对大小型晶片上的蚀刻和沉积材料具有极好的精度。该单元有两个独立的源室和一个锁载室来处理各种材料沉积。它具有高精度的XYZ级，为蚀刻和CVD工艺提供精确的线性和角度运动。它还有一个附加的旋转驱动器，可以旋转晶片高达300度，方便和精确的对准。等离子体蚀刻器/Asher有一个反应性离子蚀刻（RIE）室，其真空范围为0.005-25 torr，压力范围为5-1000 mTorr。它拥有强大的射频电源支持高密度等离子体蚀刻，功率范围高达75千瓦。沉积速率可调，每分钟0.001-1.8米μ。GASONICS Aura 1000具有先进的等离子体控制特性，如先进的等离子体成形、阶梯蚀刻和狭缝蚀刻技术。它还具有先进的晶片处理和安全功能，例如当晶片未正确固定时警报机制来提醒机器，以及射频感应来降低电弧和火灾的风险。NOVELLUS Aura 1000 Etcher/Asher是用于IC制造的高度可靠的工具,因为它具有高精度、灵活性和可重复性。资产可以通过图形用户界面（GUI）进行控制，允许操作员直观地控制流程参数，实时监控其进度。该型号兼容各种先进技术，如内存和逻辑设备、MEM和显示器。