二手 GASONICS Aura 1000 #293814135 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款耐用且先进的蚀刻器或asher。该设备的设计目的是在各种基板上实现多层地形图桉。被蚀刻的表面范围从玻璃和石英等平坦基板到硅等曲面。GASONICS Aura 1000拥有一个扩展的运行时间范围,根据设置的不同,该范围可延长至75分钟,从而实现精确的从开始到结束的蚀刻计划。它的全包系统有一个可靠的陶瓷，冷却下来的子室，这有助于提高生产率和减少颗粒尘埃。NOVELLUS Aura 1000配备了最先进的Atlas软件套件,可为用户提供更精确的控制和对其流程的反馈。集成的现场端点检测（EP）功能允许对端点进行精确控制,从而大大提高了总体阵列性能。该软件利用精细的晶粒过程控制和自动化，可以最大限度地减少电动势波动，并提供卓越的重复性和可追踪性。这使用户能够精确、无与伦比地设计复杂的结构。Aura 1000采用模块化设计,有助于简化维护过程,它还包括一个双端静电驱动器,允许双向应用强大的直流偏置,从而实现更广泛的改进蚀刻效果。通过一个单位的厚膜11跳线矩阵实现，这个独特的功能允许用户通过预编程逻辑步骤实时修改模式。所有这些功能为用户提供了一个重要的益处：最大的流程灵活性。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000配合一系列气体和等离子体化学，让使用者根据手头的任务量身定制其工艺。这台机器配备了密封喷嘴,确保了卓越的工艺质量,可满足各种用户需求,使GASONICS Aura 1000成为那些希望最大限度地提高工艺灵活性的人必不可少的工具。