二手 GASONICS Aura 1000 #293827649 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是在半导体製造过程中常用的蚀刻器/asher。它是一个多室系统，有一个大的主蚀刻室、一个负载锁室和一个清洁室。它包含一个紫外线光源，并使用专有的离子束蚀刻技术提供精确的蚀刻结果。具有较高的纵横比深度蚀刻能力，误差范围狭窄，精度为+/-15nm。可用于深度蚀刻到2 um宽和2 um深的特征。它能够加工多种材料，包括硅、铝、铜、钨等。迭代扫描机制允许晶圆的高通量蚀刻。它能够在大约3分钟内单次扫描更大的晶片，从而减少操作时间和成本。它还配备了双晶圆穿梭车，允许增加晶圆输入和输出能力。高级用户界面可帮助用户调整压力、电压和电流等参数,以获得最佳蚀刻效果。GASONICS Aura 1000以其精确的蚀刻方法和出色的重复性而闻名。NOVELLUS Aura 1000以其高精度的精确度,非常适合高精度的模式传递、模具堆迭和其他类型的复杂蚀刻应用。广泛应用于半导体、太阳能、汽车、消费电子等应用。Aura 1000具有许多高级功能,可帮助确保质量蚀刻效果。这些特点包括闭环校准和控制、高压浪涌保护、防护屏蔽、精确的温度和压力控制以及自动晶圆对准。最后，GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款设计精密可靠的先进蚀刻器/asher。它以高纵横比深度蚀刻能力、高通量扫描机制和众多先进功能而着称。GASONICS Aura 1000是一种用途广泛且可靠的工具，可以投入各种不同的应用中使用。